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在啟動(dòng)致研科技定制的這臺(tái)實(shí)驗(yàn)儀器——真空鍍膜機(jī)之前,需要先進(jìn)行檢查和調(diào)試,確保沒(méi)有問(wèn)題之后再進(jìn)行接下來(lái)的操作。
具體步驟參考如下 1.檢查設(shè)備接地是否可靠,電氣部分是否正確。
2.取下電機(jī)上彈性聯(lián)軸器,啟動(dòng)電機(jī),檢查電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)方向與真空泵殼體旋轉(zhuǎn)箭頭方向是否一至,然后再裝上聯(lián)軸器。
3.檢查真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方向與箭頭方向是否一致(詳見(jiàn)真空泵使用說(shuō)明書(shū))。
4.檢查有關(guān)部件的連接螺釘是否擰緊,特別是真空系統(tǒng)的連接螺釘。
5.檢查各轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)是否靈活,有無(wú)卡滯。
6.打開(kāi)蒸發(fā)室,對(duì)蒸發(fā)室內(nèi)壁和內(nèi)部零件進(jìn)行清潔,檢查蒸發(fā)室內(nèi)各電極接線是否正確。尤其注意電阻蒸發(fā)電極是否與防污板相碰。
7.對(duì)蒸發(fā)室試抽真空,檢查是否能達(dá)到應(yīng)達(dá)到的真空指標(biāo)。 |
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