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 | 致研科技真空鍍膜機(jī)的具體操作步驟。
如左圖，首先打開設(shè)備電源，然后操作手動(dòng)按扭啟動(dòng)設(shè)備抽真空。 |
 | 接下來打開冷卻水閥門（膜厚檢測儀用），啟動(dòng)機(jī)械泵，打開箱體背部真空手動(dòng)閥開始對箱體抽低真空。
當(dāng)正空室在低真空度正常以后，對蒸發(fā)室抽高真空。 |
| 若需要對工件進(jìn)行離子轟擊，在蒸發(fā)室真空度10～1Pa范圍內(nèi)可進(jìn)行。離子轟擊電壓可用控電柜面板上調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)。轟擊時(shí)，工件架必須勻速轉(zhuǎn)動(dòng)（轉(zhuǎn)速由用戶根據(jù)需要選擇），以便對工件進(jìn)行均勻轟擊。若需較長時(shí)間進(jìn)行離子轟擊（轟擊時(shí)間不應(yīng)超過5min），或用手動(dòng)充氣閥進(jìn)行充氣，使真空度維持在10～1Pa范圍內(nèi)以行到佳效果。 |
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